冷场发射扫描电子显微镜
JSM-7500F冷场发射扫描电子显微镜具有极高的分辨率和1000,000高放大倍率下也可以保持图象稳定性的特点;配备能量过滤器和减速模式，增加了抗震性更好的主动式减震台和免维护磁悬浮分子泵.
热场发射扫描电子显微镜
JSM-7100F 在保持小束斑的同时,获得200nA的大束流;可以对几十纳米微区进行观察和分析;可以配备EDS,EBSD,WDS,CL等;采用无漏磁物镜,可以观察磁性样品.
透射电子显微镜
JEM-2200FS是内置能量过滤器的200kV场发射透射电子显微镜,可进行元素分析和价态分析等工作,可以观察大视野的能量过滤图象;如果选配3维重构功能软件可以大视野,高衬度的3维机构信息.